一般的振动时效激振频率在200hz 以内，而高频微观激振时效指的是采用高频机械振动信号(频率大于1khz)激励构件，使构件晶体发生“局部微观共振”(即微观晶粒或亚晶意义上的共振)，以此让因位错而处于亚稳定状态的晶粒获得能量而剧烈运动，克服周围晶粒束缚回到原先更加稳定低能的平衡位置上，从而使构件内部微观位错减少，削弱或消除宏观残余应力，实现振动时效的意义与目的。
该工艺的优点是：
传统振动时效机理是由于周期性振动输入，金属位错发生滑移使晶体微观塑形变形，内部应力场改变，使残余应力得以重新分布，峰值下降。因位错塞积开通、滑动容易使晶粒破碎形成亚晶界，这一过程将导致位错密度升高，由此提高金属的临界切应力，从而使余下位错不再易滑动，工件尺寸稳定。
而高频振动时效与此不同，其高阶共振机理使得位错密度减小，晶粒本身回到几乎无应力的原始状态，消除残余应力效果更明显，也将获得更加可靠的尺寸稳定性；同时，根据机械振动模态分析理论，物体的高阶模态比低阶模态振型具有更多的节点及峰值与谷值。高频激振激发出的晶粒高阶模态，使得金属材料在整体上能量均匀分布，内应力也更加均化；再者，高频激振时效是一种微观激振，对于构件来说，振幅小，产生的宏观变形量也极小，不易导致因时效处理带来的工件破坏与损伤；此外，高频激振装置一般体积较小，不仅便于处理大型构件的微小结构处，更加能够适用于微型构件，使得振动时效技术的应用面得以拓展。
高频激振时效设备的研发在我国起步较晚，但也已形成了一些技术成熟产品。总的来看，应用形式主要集中于超声时效技术，低于超声波频率范围的高频激振时效应用并不多见。分析其原因，在于高频激振时效的机理研究尚未做到量化程度，时效处理效果的判定尚无确切标准，加之超声时效技术的突出优势，使得一般意义上的高频振动时效难以获得较大推广空间。